[发明专利]基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列及其制作方法

摘要

本发明提供一种基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列，包括位于基底的多个聚能微镜单元，所述的聚能微镜单元包括通孔、微透镜，所述通孔的上端口不小于下端口，上端口与下端口之间为通孔的侧壁；所述微透镜覆盖在所述通孔的上端口；其中至少一个聚能微镜单元中通孔的上端口大于下端口，还包括覆盖在所述通孔的内侧壁的微反射镜，所述微反射镜将通过微透镜入射在微反射镜上的光线反射到通孔的下端口；所述聚能微镜单元中通孔下端口与红外焦平面阵列的光敏吸收区对应。相应地，本发明还提供了一种基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列的制作方法。本发明可以减少入射光的浪费，提高集成有聚能微镜阵列的红外焦平面阵列的填充因子。

主权项

一种基于红外焦平面阵列的聚能微镜阵列，其特征在于，包括位于基底的多个聚能微镜单元，所述的聚能微镜单元包括通孔、微透镜，其中，所述通孔的上端口不小于下端口，上端口与下端口之间为通孔的侧壁；所述微透镜覆盖在所述通孔的上端口；其中，至少一个聚能微镜单元中包括微反射镜，所述包括微反射镜的聚能微镜单元的通孔上端口大于下端口；微反射镜覆盖在所述通孔的侧壁，所述微反射镜将通过微透镜入射在微反射镜上的光线反射到通孔的下端口；所述的聚能微镜单元中通孔下端口与红外焦平面阵列的光敏吸收区对应。