[发明专利]一种测量膜基反射镜三维面形的方法

摘要

本发明公开了一种测量膜基反射镜三维面形的方法。测量系统包括液晶显示器、标准平面反射镜、CCD、图像采集卡和计算机等。液晶显示器显示由计算机输入的正交正弦条纹，CCD采集被标准平面反射镜和膜基反射镜反射后的复合条纹，系统利用傅立叶变换轮廓术提取正交两方向上的相位，计算膜基反射镜引起的正交两方向的相位变化，根据梯度和相位变化之间的关系计算膜基反射镜的梯度分布，由梯度进行面形重构。本发明采用正交正弦条纹反射技术，只需分别采集标准平面反射镜和膜基反射镜反射的条纹图各一幅，即可实现膜基反射镜面形的测量。本发明测量装置简单、成本低、实时性好，能有效解决膜基反射镜三维面形测量难的问题。

主权项

一种测量膜基反射镜三维面形的方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)将由计算机编程产生的正交复合条纹通过输入端口显示在液晶显示器平面上，由CCD采集得到的显示器平面上的条纹图像信号反馈到计算机，并依此调整显示器上的条纹周期和对比度；(2)CCD采集一幅被标准平面反射镜反射后的复合条纹图像，输入计算机并存储；再采集一幅被待测膜基反射镜反射后的复合条纹图像，输入计算机并存储；(3)采用傅立叶变换轮廓术分别提取被标准反射镜反射后的复合条纹的正交两个方向上的基频，计算出包裹相位，对这两个方向的包裹相位进行相位展开；采用傅立叶变换轮廓术分别提取被膜基反射镜反射的复合条纹的正交两个方向上的基频，计算出包裹相位，对这两个方向的包裹相位进行相位展开；(4)依据膜基反射镜的相位和标准平面反射镜的相位，得到由膜基反射镜面形引起的相位变化，建立膜基反射镜面的相位变化与反射镜面形的关系模型，得到膜基反射镜正交两个方向上的梯度；(5)采用自适应光学中的区域波前重构法进行面形重构，即可得到膜基反射镜的三维面形。