[发明专利]一种测量膜基反射镜三维面形的方法

权利要求书

1. 一种测量膜基反射镜三维面形的方法，其特征在于，包括以下步骤： 

(1)将由计算机编程产生的正交复合条纹通过输入端口显示在液晶显示器平面上，由CCD采集得到的显示器平面上的条纹图像信号反馈到计算机，并依此调整显示器上的条纹周期和对比度；

(2)CCD采集一幅被标准平面反射镜反射后的复合条纹图像，输入计算机并存储；再采集一幅被待测膜基反射镜反射后的复合条纹图像，输入计算机并存储；

(3)采用傅立叶变换轮廓术分别提取被标准反射镜反射后的复合条纹的正交两个方向上的基频，计算出包裹相位，对这两个方向的包裹相位进行相位展开；采用傅立叶变换轮廓术分别提取被膜基反射镜反射的复合条纹的正交两个方向上的基频，计算出包裹相位，对这两个方向的包裹相位进行相位展开；

(4)依据膜基反射镜的相位和标准平面反射镜的相位，得到由膜基反射镜面形引起的相位变化，建立膜基反射镜面的相位变化与反射镜面形的关系模型，得到膜基反射镜正交两个方向上的梯度；

(5)采用自适应光学中的区域波前重构法进行面形重构，即可得到膜基反射镜的三维面形。

2. 根据权利要求1所述的一种测量膜基反射镜三维面形的方法，其特征在于：所述的正交复合条纹为同频率的正交复合条纹。

3. 根据权利要求1所述的一种测量膜基反射镜三维面形的方法，其特征在于：所述的CCD采用针孔成像模型。