[发明专利]处理液排出装置无效

专利信息
申请号: 201110217897.X 申请日: 2011-08-01
公开(公告)号: CN102371221A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 金大星;李晟熙 申请(专利权)人: 细美事有限公司
主分类号: B05B15/02 分类号: B05B15/02;B05B15/06
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 韩国忠淸南道天*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供处理液排出装置,为了有效去除残留于喷头的喷嘴面的微量液晶,在清洗喷头的喷嘴面的喷头清洗单元中,设有一个或多个喷嘴,所述喷嘴以喷射气体的方式将残留于吸嘴上部的液晶推向吸嘴方向。所述处理液排出装置还包括水平驱动部件,用于调节喷嘴和吸嘴之间间距;和升降部件,用于调节喷嘴的排出口的高度;和压力调节装置,用于调节喷嘴的排出口的喷射压力。
搜索关键词: 处理 排出 装置
【主权项】:
一种喷墨式处理液排出装置,包括:底座;基板支撑单元,设置于所述底座,用于支撑基板;龙门(gentry),设置于所述基板支撑单元的移动路径上部并结合有以喷墨方式向所述基板上排出药液的喷头;及清洗单元,设置于所述底座,用于清洗所述喷头的喷嘴面;所述清洗单元包括:吸嘴,所述吸嘴具有指向所述喷头而形成的吸孔;排出口,所述排出口指向位于所述吸嘴上部的喷头;一个或多个喷嘴;及水平驱动部件,所述水平驱动部件将所述喷嘴向水平方向移动。
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