[发明专利]处理液排出装置无效
| 申请号： | 201110217897.X | 申请日： | 2011-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN102371221A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 金大星;李晟熙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/02 | 分类号： | B05B15/02;B05B15/06 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 韩国忠淸南道天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 排出 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷墨式处理液排出装置，包括：
底座；
基板支撑单元，设置于所述底座，用于支撑基板；
龙门(gentry)，设置于所述基板支撑单元的移动路径上部并结合有以喷墨方式向所述基板上排出药液的喷头；及
清洗单元，设置于所述底座，用于清洗所述喷头的喷嘴面；
所述清洗单元包括：
吸嘴，所述吸嘴具有指向所述喷头而形成的吸孔；
排出口，所述排出口指向位于所述吸嘴上部的喷头；
一个或多个喷嘴；及
水平驱动部件，所述水平驱动部件将所述喷嘴向水平方向移动。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：具有多个所述喷嘴；包括升降部件，所述升降部件分别结合于所述喷嘴以独立调节所述喷嘴的排出口末端的高度。
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