[发明专利]纳米纤维和粒子粘附层的双敏感层气体传感器及制备方法

摘要

本发明属于气体传感器技术领域，特别是涉及一种由纳米纤维和粒子粘附层组成的双敏感层结构的气体传感器及制备方法。器件从下至上依次由加热电极、下绝缘层、硅片、上绝缘层、信号电极、粒子粘附层、纳米纤维敏感层、加热电极引线和信号电极引线组成。粒子粘附层与纳米纤维层敏感层为同种金属氧化物气敏材料，粒子粘附层采用磁控溅射法沉积制备，纳米纤维敏感层采用静电纺丝法制备，本发明的主要优点是：器件制作过程简单，仅需要一次磁控溅射；易于批量生产，可以一次性地在数百个传感器制作上沉积粒子粘附层；且敏感性能提升明显，制作粒子材料层后，传感器在灵敏度和响应恢复速度方面都有了显著的提高。

主权项

一种基于纳米纤维和粒子粘附层的双敏感层气体传感器，其特征在于：器件从下至上依次由加热电极(4)、下绝缘层(2)、硅片(1)、上绝缘层(3)、信号电极(5)、粒子粘附层(6)、纳米纤维敏感层(7)、加热电极引线(10)和信号电极引线(11)组成。