[发明专利]照明模块的移动装置有效
| 申请号： | 201110209713.5 | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN102902163A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 黄静莉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种照明模块的移动装置，包括底座、第一限位块、第二限位块、承载板、气缸和旋转单元。第一限位块和第二限位块分别固定于底座上。承载板靠在第一限位块上。旋转单元承载并转动承载板。气缸连接旋转单元，用以沿Z向驱动旋转单元。当气缸沿+Z向驱动旋转单元至固定距离时，旋转单元转动承载板，使承载板靠在第二限位块上。本发明提出的照明模块的移动装置，能够快速提升、旋转照明顶部模块，并具有较高的重复定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 模块 移动 装置 | ||
【主权项】：
一种照明模块的移动装置，其特征是，包括：底座；第一限位块和第二限位块，分别固定于所述底座上；承载板，靠在所述第一限位块上；旋转单元，承载并转动所述承载板；以及气缸，连接所述旋转单元，用以沿Z向驱动所述旋转单元，当所述气缸沿+Z向驱动所述旋转单元至固定距离时，所述旋转单元转动所述承载板，使所述承载板靠在所述第二限位块上。
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