[发明专利]照明模块的移动装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种移动装置，且特别涉及一种光刻机照明模块的移动装置。

背景技术

在步进或扫描式光刻机中，由于照明模块一般在掩模台之上，并且垂向相隔空间狭小，如果需要对掩模台进行维护、维修，如对掩模台的承版台擦拭、清洗，对驱动电机及气缸进行维护、维修、更换安装等，须首先将掩模台上部的照明模块、对准模块移开，露出掩模台维护、维修部位，待维护或维修工作结束后再将照明模块恢复原位。因此，照明模块的移入移出需要保证足够的重复定位精度，以保证快速恢复整机工作。

目前技术中用于光刻机照明顶部模块的安装维护机构所涉及的升降装置，是通过电机驱动，齿形轮-皮带、蜗轮-蜗杆、丝杠-螺母传动，通过4个调节装置与照明模块连接，将照明提升400～600mm的高度，从而对掩模进行维护、维修工作。其缺点是：

1.结构复杂、传动链长、效率低；

2.连接刚性低、可靠性低；

3.占用高度空间大。

发明内容

本发明提出一种照明模块的移动装置，快速提升旋转照明顶部模块，并具有较高的重复定位精度，能够解决上述问题。

为了达到上述目的，本发明提出一种照明模块的移动装置，包括：

底座；

第一限位块和第二限位块，分别固定于底座上；

承载板，靠在第一限位块上；

旋转单元，承载并转动承载板；

气缸，连接旋转单元，用以沿Z向驱动旋转单元，

当气缸沿+Z向驱动旋转单元至固定距离时，旋转单元转动承载板，使承载板靠在第二限位块上。

进一步说，旋转单元包括：

旋转轴，紧固连接于承载板；

轴承，连接于气缸，旋转轴可转动地设置于轴承内。

进一步说，轴承为轴向或径向圆柱滚子轴承，旋转轴固定于轴承的内圈，轴承的外圈固定连接有第一轴承座，第一轴承座连接于底座。

进一步说，移动装置还包括：

导向模块，包括滚珠导套和导向轴，导向轴固定在底座上，滚珠导套固定在旋转单元上，滚珠导套沿Z向可移动地套在导向轴上。

进一步说，导向模块还包括：

第二轴承座，滚珠导套安装在第二轴承座内；

调整螺钉，安装在第二轴承座上，用以调整滚珠导套与导向轴的径向间隙。

进一步说，第二轴承座固定在第一轴承座上。

本发明还提供一种照明模块的移动方法，应用于如前的移动装置，包括以下步骤：

a.松开所述旋转单元的第一轴承座与所述底座紧固连接；

b.松开所述承载板与所述第一定位块；

c.气缸驱动旋转单元沿+Z向移动固定距离；

d.转动承载板至靠第二定位块；以及

e.锁紧承载板与第二定位块。

进一步说，在步骤c之后，还包括以下步骤：

f.松开承载板与第二定位块；

g.转动承载板至复位位置；

h.气缸驱动承载板沿-Z向移动固定距离；以及

i.锁紧所述承载板与所述第一定位块。

本发明提出的照明模块的移动装置，利用了导向模块与旋转单元，消除了安装间隙所产生的轴向、径向窜动，实现了结构简化、定位精度高、安装调试方便的性能。同时由于轴承内部轴向、径向均匀布置着高精度的滚柱，负荷平均分载，承载强、刚性大、尤其是轴向刚性、倾斜刚性更大，实现了高的可靠性。

附图说明

图1所示为本发明较佳实施例移动装置的结构示意图；

图2a所示为本发明较佳实施例旋转单元的剖面图；

图2b所示为本发明较佳实施例旋转单元的俯视图；

图3所示为本发明较佳实施例照明模块的移动方法的步骤流程图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

请参看图1，图1所示为本发明较佳实施例移动装置的结构示意图。

移动装置包括气缸1、旋转单元2、导向模块3、承载板4、第一限位块7、第二限位块5和底座6组成。

照明模块(图中未示出)设置在承载板4之上，承载板4靠在第一限位块7上。气缸1沿Z向驱动旋转单元2。当旋转单元2提升固定距离h后，能够旋转承载板4，然后将承载板4靠在第二限位块5上。使用者可以将承载板4锁紧在第二限位块5上，进行维护、维修工作。

移动装置还可以包括导向模块3，导向模块3能够引导承载板4沿Z向移动。导向模块3的细部结构，在后面进行详细揭露。