[发明专利]一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置无效
| 申请号： | 201110199546.0 | 申请日： | 2011-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102354647A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 孔明光;吴兵;储昭琴;朱晓光;王兆明;费广涛;秦勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，包括有220V交流源、直流电源模块，时序组合开关装置，220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵，时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、真空探测器高压BNC。本发明能够有效提高仪器关键部件使用寿命和拓展设备的功能，延长了扫描灯丝的使用寿命，改善了真空环境，从技术约束真空获取设备和真空室一些其他设备的开启时序关系。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 扫描 电子显微镜 灯丝 寿命 装置 | ||
【主权项】：
一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，其特征在于：包括有220V交流源、直流电源模块，时序组合开关装置，所述220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵，所述直流电源模块输入接入220V交流源，直流电源模块输出接入时序组合开关装置以供电，所述时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、连接在高压干簧继电器输出线上的真空探测器高压BNC，所述直流电源模块输出接入延时时间可调继电器输入端，延时时间可调继电器的输出通过二极管接入高压干簧继电器输入端，所述真空探测器高压BNC接入扫描电子显微镜的潘宁规真空计中。
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