[发明专利]一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置

说明书

技术领域

本发明涉及扫描电子显微镜领域，具体为一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置。

背景技术

扫描电子显微镜设备是一种常用的分析设备，其大部分都需要高真空环境，在真空环境中，对于高压的加载很有讲究的，尤其进口大型设备，部件不仅本身贵重，而且直接决定仪器的停运。因此对真空获取设备的合理控制显得尤其重要。

扫描电子显微镜设备中有电子枪系统，高压系统和高真空检测设备等，其灯丝正常使用寿命一般在18个月左右，在使用过程中，灯丝常出现没有达到正常使用期限就报废的问题，其原因是由于样品室在开闭前后时间内，灯丝电流突然变为零，真空环境出现放电现象，由于样品室窗口时常启闭，样品室的真空度变化很大，如果真空状态不好时，样品室存在高压设备单元，如潘宁规真空计，就有可能出现高压打火放电，污染真空室，迫使灯丝电流异常关断，影响灯丝寿命。

解决灯丝使用寿命低的方法之一是在关闭机械泵后关闭潘宁规真空计，启动机械泵后一段时间后再开启潘宁规真空计。但现有技术的潘宁规真空计不具备这项功能，而目前市场上的延时开关也不支持高压工作，因此需要一种能够独立工作的联动延时高压开关。

发明内容

本发明的目的是提供一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，以解决扫描电子显微镜灯丝使用寿命低的问题。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，其特征在于：包括有220V交流源、直流电源模块，时序组合开关装置，所述220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵，所述直流电源模块输入接入220V交流源，直流电源模块输出接入时序组合开关装置以供电，所述时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、连接在高压干簧继电器输出线上的真空探测器高压BNC，所述直流电源模块输出接入延时时间可调继电器输入端，延时时间可调继电器的输出通过二极管接入高压干簧继电器输入端，所述真空探测器高压BNC接入扫描电子显微镜的潘宁规真空计中。

所述的一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，其特征在于：所述直流电源模块包括变压器、二极管整流桥、稳压芯片，变压器一输入端通过开关接入220V交流源一端，变压器另一输入端通过保险丝接入220V交流源另一端，所述变压器的输出接入二级管整流桥输入端，二极管整流桥输出接入稳压芯片输入端，稳压芯片输出接入延时时间可调继电器输入端。

所述的一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，其特征在于：所述220V交流源供电至扫描电子显微镜的机械泵为控制输出1，直流电源模块供电至延时时间可调继电器为控制输出2，通过延时时间可调继电器调整控制输出1与控制输出2的时间差，以提高真空环境，延长扫描电子显微镜灯丝的寿命。

本发明的有益效果为:

1) 先进性，本发明从技术上约束设备的开启时序关系，在科研生产中，大型仪器设备的使用率很重要，尤其是进口大型设备，在不影响大型设备原有功能及操作的基础上，进行技术改造，从而延长大型设备的关键部件使用寿命。

2) 适应性，在大型真空设备使用领域，同类情况具有适应性。

3) 操作方便性，按照这种思路，同领域人员，制作安装容易掌握。

附图说明

图1为本发明原理图。

具体实施方式

如图1所示。一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置，包括有220V交流源、直流电源模块，时序组合开关装置，220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵，直流电源模块输入接入220V交流源，直流电源模块输出接入时序组合开关装置以供电，时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、连接在高压干簧继电器输出线上的真空探测器高压BNC，直流电源模块输出接入延时时间可调继电器输入端，延时时间可调继电器的输出通过二极管接入高压干簧继电器输入端，真空探测器高压BNC接入扫描电子显微镜的潘宁规真空计中。

直流电源模块包括变压器T1、二极管整流桥D1、稳压芯片U1，变压器T1一输入端通过开关接S1入220V交流源一端，变压器另T1一输入端通过保险丝F1接入220V交流源另一端，变压器T1的输出接入二级管整流桥D1输入端，二极管整流桥D1输出接入稳压芯片U1输入端，稳压芯片U1输出接入延时时间可调继电器输入端。

延时时间可调继电器有两路输出，一路输出通过二极管D4接入高压干簧继电器输入端，另一端输出的信号接入计算机中。