[发明专利]用于对准系统的参考光栅空间像调整装置及调整方法有效
| 申请号： | 201110193004.2 | 申请日： | 2011-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN102880018A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 唐文力;王海江 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于对准系统的参考光栅空间像调整装置，沿光线传播的方向依次包括：光源，用于提供照明光束；偏转平板，用于改变照明光束的倾斜角度；曝光对象，所述曝光对象含有至少一个对准标记；光学元件单元，用于将所述对准标记的衍射光束干涉成像在参考光栅上；还包括：偏转平板控制设备，用于控制所述偏转平板的角度；参考光栅Z向驱动装置，用于控制所述参考光栅Z向位移。本发明同时公开一种用于对准系统的参考光栅空间像调整方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 系统 参考 光栅 空间 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对准系统的参考光栅空间像调整装置，包括：光源，用于提供照明光束；偏转平板，用于改变照明光束的倾斜角度；曝光对象，所述曝光对象含有至少一个对准标记；光学元件单元，用于将所述对准标记的衍射光束干涉成像在参考光栅上；偏转平板控制设备，用于控制所述偏转平板的角度；参考光栅Z向驱动装置，用于控制所述参考光栅Z向位移。
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