[发明专利]用于对准系统的参考光栅空间像调整装置及调整方法

权利要求书

1.一种用于对准系统的参考光栅空间像调整装置，包括：

光源，用于提供照明光束；

偏转平板，用于改变照明光束的倾斜角度；

曝光对象，所述曝光对象含有至少一个对准标记；

光学元件单元，用于将所述对准标记的衍射光束干涉成像在参考光栅上；

偏转平板控制设备，用于控制所述偏转平板的角度；

参考光栅Z向驱动装置，用于控制所述参考光栅Z向位移。

2.如权利要求1所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，所述光学元件按光线传播的方向依次包括：第一透镜组、反射棱镜、第二透镜组及光纤，所述参考光栅放置于所述第二透镜组与所述光纤之间。

3.如权利要求1所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，还包括光电探测及放大处理单元及信号处理单元，所述光电探测及放大处理单元用于探测光信号并转化为电信号，所述信号处理单元用于处理所述电信号。

4.如权利要求3所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，还包括一反射镜。

5.如权利要求4所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，还包括光电探测及放大滤波单元。

6.如权利要求5所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，还包括电光调制装置及电光调制控制器，所述电光调制装置用于调节所述照明光束的光强。

7.如权利要求1所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，所述光源是一激光光源。

8.如权利要求1所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，所述参考光栅Z向驱动装置包括位置传感器和电机。

9.如权利要求1所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，所述偏转平板控制设备是一电机。

10.如权利要求3所述的参考光栅空间像调整装置，其特征在于，所述光电探测及放大处理单元包括光电探测和前置放大模块、多路开关及锁相放大模块。

11.一种使用权利要求1至10任一项装置调整参考光栅空间像的方法，其特征在于，利用所述偏转平板控制设备至少一次改变照明光束以获得倾斜量，利用所述参考光栅Z向驱动装置至少一次改变所述参考光栅的Z向位移以获得离焦量，测量至少四条通过参考光栅扫描后的光强曲线，根据所述光强曲线计算所述参考光栅的最佳焦平面。