[发明专利]多晶硅膜检测装置以及检测方法有效
| 申请号： | 201110192126.X | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102401790A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·乌若诺夫;李奭浩;柳裁胜;许京会;韩圭完 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/65;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅膜检测装置以及检测方法，本发明的实施例的多晶硅膜检测装置检测向前面照射激光而结晶化的多晶硅膜。并且包括：光源部，向所述多晶硅膜的背面发射检测光，所述背面与所述前面相反；验光部，对在所述多晶硅膜反射的检测光验光；以及控制部，控制所述光源部和所述验光部。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅膜检测装置，检测向前面照射激光而结晶化的多晶硅膜，包括：光源部，向所述多晶硅膜的背面发射检测光，所述背面与所述前面相反；验光部，对在所述多晶硅膜反射的检测光验光；以及控制部，控制所述光源部和所述验光部。
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