[发明专利]一种钇-铝共掺杂氧化锌薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种钇-铝共掺杂氧化锌薄膜及其制备方法。本发明的薄膜中，氧化钇:氧化铝:氧化锌的物质的量之比为（1~9）:（1~9）:100。本发明薄膜的制备方法包括以下步骤：将硝酸钇、硝酸铝和醋酸锌按物质的量之比（1~9）:（1~9）:100加入乙二醇甲醚中，滴加0.55倍醋酸锌物质的量的乙醇胺，得到混合溶液；将混合溶液水浴加热并搅拌，陈化，得到钇-铝共掺杂氧化锌溶胶；将洗净烘干的基片浸入溶胶中，采用浸渍-提拉法镀膜，干燥，退火，冷却，得到均匀镀在基片上的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜。本发明的薄膜镀在玻璃上得到的镀膜玻璃的节能隔热功能大幅提高，其生产工艺简便，成本低廉。

主权项

一种钇‑铝共掺杂氧化锌薄膜，其特征在于，含有氧化钇、氧化铝和氧化锌，所述氧化钇:氧化铝:氧化锌的物质的量之比为（1~9）:（1~9）:100。