[发明专利]一种钇-铝共掺杂氧化锌薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种钇-铝共掺杂氧化锌薄膜，其特征在于，含有氧化钇、氧化铝和氧化锌，所述氧化钇:氧化铝:氧化锌的物质的量之比为（1~9）:（1~9）:100。

2.权利要求1所述的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：将硝酸钇、硝酸铝和醋酸锌按物质的量之比（1~9）:（1~9）:100加入乙二醇甲醚中，滴加乙醇胺，所述乙醇胺与醋酸锌物质的量之比为0.55:1，得到混合溶液；将上述混合溶液进行水浴加热并搅拌，陈化，得到钇-铝共掺杂氧化锌溶胶；将洗净烘干的基片浸入上述钇-铝共掺杂氧化锌溶胶中，浸渍，以均匀的速度提拉出基片，干燥，退火，冷却，得到均匀镀在基片上的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜。

3.根据权利要求2所述的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述混合溶液中醋酸锌的物质的量浓度为0.3~0.6mol/L。

4.根据权利要求3所述的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述水浴加热的温度为65～90℃；所述搅拌的时间为1～4h；所述陈化的时间为24～72h。

5.根据权利要求3所述的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述浸渍的时间为1~3min；所述速度为1~3cm/min；所述干燥的温度为100~150℃，时间为10~20min；所述退火的温度为500~700℃，时间为2~5h。

6.根据权利要求2~5之一所述的钇-铝共掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述基片为玻璃。