[发明专利]分流式气浴风道有效
| 申请号： | 201110172218.1 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102841508A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 张洪博;聂宏飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分流式气浴风道，包括本体以及至少一个分流单元。本体具有至少一个支路出风口。分流单元与支路出风口一一对应设置，本体的高度随着分流单元依次减小。分流单元包括调节件与分流片，调节件可移动地设置于本体且连接于分流片，分流片平行于本体。此分流式气浴风道在满足各个支路流量可调的同时，解决了支路流量调节相互干扰的问题，减少了气浴系统的压阻，节约了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 分流 式气浴 风道 | ||
【主权项】：
一种分流式气浴风道，其特征在于，包括：本体，具有至少一个支路出风口；以及至少一个分流单元，与所述至少一个支路出风口一一对应设置，所述本体的高度随着所述分流单元依次减小，所述分流单元包括调节件与分流片，所述调节件可移动地设置于所述本体且连接于所述分流片，所述分流片平行于所述本体。
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