[发明专利]被硼和氮代替的石墨烯、其制造方法及具有其的晶体管有效

专利信息
申请号: 201110164676.0 申请日: 2011-06-20
公开(公告)号: CN102285660A 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 李晟熏;徐顺爱;禹轮成;郑现钟;许镇盛 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: C01B35/00 分类号: C01B35/00;H01L29/167
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 金拟粲
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 提供被氮和硼代替的石墨烯、其制造方法及具有其的晶体管,该石墨烯包括碳(C)原子被硼(B)原子和氮(N)原子部分地代替的结构。该石墨烯具有带隙。被硼和氮代替的石墨烯可用作场效应晶体管的沟道。该石墨烯可通过使用环硼氮烷或氨硼烷作为氮化硼(B-N)前体进行化学气相沉积(CVD)方法形成。
搜索关键词: 代替 石墨 制造 方法 具有 晶体管
【主权项】:
石墨烯,包括:碳(C)原子被硼(B)原子和氮(N)原子部分地代替的结构,其中所述石墨烯具有带隙。
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