[发明专利]被硼和氮代替的石墨烯、其制造方法及具有其的晶体管有效
| 申请号: | 201110164676.0 | 申请日: | 2011-06-20 |
| 公开(公告)号: | CN102285660A | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
| 发明(设计)人: | 李晟熏;徐顺爱;禹轮成;郑现钟;许镇盛 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
| 主分类号: | C01B35/00 | 分类号: | C01B35/00;H01L29/167 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 金拟粲 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 提供被氮和硼代替的石墨烯、其制造方法及具有其的晶体管,该石墨烯包括碳(C)原子被硼(B)原子和氮(N)原子部分地代替的结构。该石墨烯具有带隙。被硼和氮代替的石墨烯可用作场效应晶体管的沟道。该石墨烯可通过使用环硼氮烷或氨硼烷作为氮化硼(B-N)前体进行化学气相沉积(CVD)方法形成。 | ||
| 搜索关键词: | 代替 石墨 制造 方法 具有 晶体管 | ||
【主权项】:
石墨烯,包括:碳(C)原子被硼(B)原子和氮(N)原子部分地代替的结构,其中所述石墨烯具有带隙。
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