[发明专利]一种光刻机硅片台线缆台有效
| 申请号： | 201110163349.3 | 申请日： | 2011-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102200698A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;陈亚英;张鸣;徐登峰;汪劲松 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种光刻机硅片台的线缆台，涉及半导体光刻设备。该线缆台包含线缆支架、两个Y向移动座、传动带、两条Y向导轨、支座、X向移动座和X向直线电机。硅片台拖出的线缆连接到线缆支架上，硅片台在平面内运动时，线缆支架可同步移动，使线缆支架与硅片台始终保持位置恒定，以保证硅片台的线缆不被拉伸或压缩，从而实现对硅片台拖出的大量线缆的有效管理，有效解决了硅片台线缆对硅片台的运动和定位的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 硅片 线缆 | ||
【主权项】：
一种光刻机硅片台的线缆台，其特征在于：该线缆台包含线缆支架(2)、两个Y向移动座(9)、传动带(3)、平行设置的两条Y向导轨(10)、支座(11)、X向移动座(4)和X向直线电机(5)，硅片台拖出的线缆(6)连接到线缆支架(2)上、线缆支架两端分别与两个Y向移动座连接，两个Y向移动座中的一个或两个与传动带固定，两个Y向移动座受传动带驱动分别沿两个Y向导轨运动，每条Y向导轨两端分别固定在支座(11)和X向移动座(4)上，支座和X向移动座在X向直线电机(5)的驱动下沿X向移动，X向直线电机与基台固定。
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