[发明专利]一种光刻机硅片台线缆台有效
| 申请号： | 201110163349.3 | 申请日： | 2011-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102200698A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;陈亚英;张鸣;徐登峰;汪劲松 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 硅片 线缆 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机硅片台的线缆台，其特征在于：该线缆台包含线缆支架(2)、两个Y向移动座(9)、传动带(3)、平行设置的两条Y向导轨(10)、支座(11)、X向移动座(4)和X向直线电机(5)，硅片台拖出的线缆(6)连接到线缆支架(2)上、线缆支架两端分别与两个Y向移动座连接，两个Y向移动座中的一个或两个与传动带固定，两个Y向移动座受传动带驱动分别沿两个Y向导轨运动，每条Y向导轨两端分别固定在支座(11)和X向移动座(4)上，支座和X向移动座在X向直线电机(5)的驱动下沿X向移动，X向直线电机与基台固定。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片台的线缆台，其特征在于：线缆支架为条状扁平板。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片台的线缆台，其特征在于：硅片台为平面气浮硅片台或平面磁浮硅片台。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机硅片台的线缆台，其特征在于：两条Y向导轨之间的垂直距离大于硅片台沿X方向的边长。
5.根据权利要求5所述的一种光刻机硅片台的线缆台，其特征在于：线缆台在Y方向上伸入基台(8)的距离小于基台(8)的工作区域Y向尺寸的一半，以保证两硅片台(1)位置交换时不发生干涉。
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