[发明专利]反射折射投影光学系统、扫描曝光装置、微元件的制造方法有效
| 申请号： | 201110163295.0 | 申请日： | 2007-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102253477A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种反射折射投影光学系统，把配置于第1面的第1物体的放大像形成在配置于第2面的第2物体上，所述反射折射投影光学系统的特征在于包括：光束传送部，从所述第1面发出并沿着与所述第1面正交的方向行进的光，是在沿着所述第1面的第1方向传送，并使在所述第1方向已传送的光沿着与所述第1面正交的方向行进，并引导往所述第2面。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 折射 投影 光学系统 扫描 曝光 装置 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种反射折射投影光学系统，把配置于第1面的第1物体的放大像形成在配置于第2面的第2物体上，所述反射折射投影光学系统的特征在于包括：光束传送部，从所述第1面发出并沿着与所述第1面正交的方向行进的光，是在沿着所述第1面的第1方向传送，并使在所述第1方向已传送的光沿着与所述第1面正交的方向行进，并引导往所述第2面。
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