[发明专利]表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

摘要

本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，它们无论使用环境如何振荡稳定性都十分优异。SAW谐振器(10)利用了欧拉角为的石英基板(30)，具有激励出SAW的IDT(12)和夹着IDT(12)的一对反射器(20)；以及使电极指(18)之间的石英基板(30)凹陷而形成的槽(32)，其中，在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时，满足0.01λ≤G，在设IDT(12)的线占有率为η时，槽(32)的深度G与线占有率η满足以下关系：-2×G/λ+0.72≤η≤-2.5×G/λ+0.7775，其中0.01λ≤G≤0.05λ；以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5×G/λ+0.7775，其中0.0500λ＜G≤0.0695λ。

主权项

1.一种表面声波谐振器，其具有：叉指换能器IDT，其设置在欧拉角为的石英基板上，激励出阻带上端模式的表面声波；以及电极指间槽，其是使位于构成所述IDT的电极指之间的基板凹陷而形成的，该表面声波谐振器的特征在于，在设所述表面声波的波长为λ、所述电极指间槽的深度为G的情况下，满足下式：0.01λ≤G，并且，在设所述IDT的线占有率为η的情况下，所述电极指间槽的深度G与所述线占有率η满足下式的关系：-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775其中0.0100λ≤G≤0.0500λ-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775其中0.0500λ＜G≤0.0695λ，该表面声波谐振器具有一对反射单元，该一对反射单元配置成在所述表面声波的传播方向上夹着所述IDT，对所述表面声波进行反射。