[发明专利]制造薄膜太阳能电池的方法

摘要

制造薄膜太阳能电池的方法。该方法包括以下步骤：提供上面分配有多个电池的基板；在该基板上沉积透明电极形成薄膜；通过激光照射在该透明电极形成薄膜中形成第一槽，由此在各个电池中形成彼此间隔的透明电极，并形成初级第四槽，通过这些初级第四槽暴露基板的表面；在上面形成有透明电极的基板上沉积半导体层形成薄膜；通过激光照射在该半导体层形成薄膜中形成第二槽，由此在各个电池中形成彼此间隔的半导体层；在上面形成有半导体层的基板上形成金属电极形成薄膜；以及通过激光照射在金属电极形成薄膜中形成第三槽，由此在各个电池中形成彼此间隔的金属电极，并暴露基板的包括初级第四槽的表面，由此形成将多个电池与外部绝缘的次级第四槽。

主权项

一种制造薄膜太阳能电池的方法，该方法包括以下步骤：提供上面分配有多个电池的基板；在所述基板上沉积透明电极形成薄膜；通过激光照射在所述透明电极形成薄膜中形成多个第一槽，由此在各个电池中形成彼此间隔的透明电极，并形成多个初级第四槽，通过所述多个初级第四槽暴露所述基板的表面；在上面形成有所述透明电极的所述基板上沉积半导体层形成薄膜；通过激光照射在所述半导体层形成薄膜中形成多个第二槽，由此在各个电池中形成彼此间隔的半导体层；在上面形成有所述半导体层的所述基板上形成金属电极形成薄膜；以及通过激光照射在所述金属电极形成薄膜中形成多个第三槽，由此在各个电池中形成彼此间隔的金属电极，并且暴露所述基板的包括所述多个初级第四槽的所述表面，由此形成将所述多个电池与外部绝缘的多个次级第四槽。