[发明专利]一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法有效

专利信息
申请号: 201110154588.2 申请日: 2011-06-09
公开(公告)号: CN102275907A 公开(公告)日: 2011-12-14
发明(设计)人: 瞿研 申请(专利权)人: 无锡第六元素高科技发展有限公司
主分类号: C01B31/04 分类号: C01B31/04
代理公司: 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 代理人: 夏晏平
地址: 214000 江苏省无锡市惠山区长*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法,涉及一种石墨烯材料的制备方法。步骤是,将荷包状铜箔置于真空管式炉或者真空气氛炉中,在除去真空腔内氧气的情况下,将氢气注入真空腔中,并升温至800-1100摄氏度,再将碳源气体注入真空腔中,即得沉积石墨烯的荷包状铜箔。本发明基于化学气相沉积法,在封闭的荷包状金属衬底(例如铜箔)外表面上高温裂解甲烷或其他碳氢气体,所沉积的碳原子在高温下透析到金属衬底内表面,在内表面形成石墨烯薄膜。该方法石墨烯的形成速度较慢,所形成的石墨烯晶粒较大,从而提供一种制备超大晶粒石墨烯薄膜的方法。
搜索关键词: 一种 基于 化学 沉积 高温 原子 透析 制备 石墨 方法
【主权项】:
一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法,其特征在于:步骤如下,(1)取一定尺寸的矩形铜箔,对折后,将开口的三面密封起来,形成一个荷包状铜箔;再用有机溶剂清洗压焊后残留的污染物;(2)将荷包状铜箔置于真空反应炉中,在除去真空腔内氧气的情况下,将氢气注入真空腔中,并升温至800‑1100摄氏度,再将碳源气体注入真空腔中,同时保持氢气流量,1‑100分钟后即得沉积石墨烯的荷包状铜箔。
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