[发明专利]一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法

权利要求书

1.一种基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，其特征在于：步骤如下，

（1）取一定尺寸的矩形铜箔，对折后，将开口的三面密封起来，形成一个荷包状铜箔；再用有机溶剂清洗压焊后残留的污染物；

（2）将荷包状铜箔置于真空反应炉中，在除去真空腔内氧气的情况下，将氢气注入真空腔中，并升温至800-1100摄氏度，再将碳源气体注入真空腔中，同时保持氢气流量，1-100分钟后即得沉积石墨烯的荷包状铜箔。

2.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，其特征在于：除去真空腔内氧气的方法是：

（1）将管式炉或气氛炉的气压抽至极限真空状态4～8×10^-2 Torr；

（2）以气体流量1-100 sccm将纯度高于99.99%的惰性气体注入到真空腔中；

（3）关闭惰性气体进气阀门，将管式炉或气氛炉的气压抽至极限4～8×10^-2 Torr；

（4）重复操作步骤（2）和步骤（3）2～3次，直至将管式炉或气氛炉内的残余氧气除至氧气分压小于1×10^-6Torr。

3.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，其特征在于：取出沉积石墨烯的荷包状铜箔的方法是：关闭氢气和碳源气体阀门、真空泵，用惰性气体将管式炉或气氛炉气压充满到一个大气压状态，然后取出荷包状铜箔。

4.根据权利要求1所述的基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，其特征在于：氢气和碳源气体的流速为1-100 sccm，纯度高于99.99%。

5.根据权利要求1-4所述的基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，其特征在于：所述碳源气体为只含碳氢原子的有机气体。

6.根据权利要求5所述的基于化学气相沉积的高温原子透析制备石墨烯的方法，其特征在于：所述碳源气体为甲烷。