[发明专利]一种碳化硅微粉的生产工艺

摘要

本发明公开了一种碳化硅微粉的生产工艺，该工艺采取破碎、多次研磨相组合的方法制备碳化硅微粉的工艺方法，包括在经过第一次的粗研磨后，在得到的微粉中首先分离出规定标号的微粉(比如1200目)和较粗的微粉，然后在第二次的研磨中将第一次研磨分离出的较粗微粉研磨到达到规定标号。该工艺是碳化硅颗粒一旦被磨细将无法再回复进行多次研磨。因此，采用逐级研磨，逐级分选的方法来解决部分颗粒研磨过细的问题。由于充分利用现有的一些研磨技术，在不影响生产率的前提下，碳化硅块体的利用率获得了改善，另外大部分的微粉颗粒经历了球磨机的破碎过程，棱角更加峰利，对硅晶片的切削和研磨效果会得到改善。

主权项

一种碳化硅微粉的生产工艺，其特征在于，所述工艺包括下述步骤：第一步破碎，取碳化硅原料，经破碎机破碎，然后筛分出不大于5mm的碳化硅颗粒；第二步研磨，将第一步筛分出的碳化硅颗粒用球磨机粉碎成为15‑25μm的碳化硅粉；第三步分级，用多级气流分级机对15‑25μm的碳化硅粉进行分级，从多级气流分级机的第一分级出口中分出颗粒度大于16μm的颗粒，从多级气流分级机的第二分级出口中分出50％颗粒度为9.0‑10.0μm的成品，从多级气流分级机的旋风口中分出小于6μm的副产品；第四步获得合格粉体A，将第三步得到的成品粉末收集，再经水力旋流器进行分级处理，从水力旋流器的出料口得到≥6μm和≤16.5μm的合格粉体A；第五步继续研磨与分级，将碳化硅颗粒度大于16μm的颗粒再进一步用球磨机球磨0.5‑6小时，然后再用水力旋流器进行分级，使砂浆压力0.2MPa，砂浆的流速为5～12m/s；从水力旋流器的溢流管中分离出颗粒小于16μm的碳化硅颗粒，将水力旋流器的沉砂口排出的浆料再收集起来进行进一步的球磨；第六步获得合格粉体B，在第五步的基础上分离出小于16μm的碳化硅颗粒，然后用水力旋流器进行分级，从水力旋流器的溢流管中分离出颗粒小于6μm的颗粒，将水力旋流器的沉砂口排出的浆料收集，从水力旋流器的出料口得到≥6μm和≤16.5μm的合格粉体B；第七步获得成品，将第四步与第六步得到的合格粉末A和B进行水洗、酸洗、水洗，然后干燥得到1200目的成品碳化硅。