[发明专利]一种产生相干极紫外辐射的方法及装置

摘要

一种产生相干极紫外辐射的方法及装置，属于光学技术领域。利用高次谐波方法来产生极紫外辐射，一般是采用结构复杂、造价昂贵的飞秒激光放大器来实现，这一方法依赖于飞秒激光放大器。本发明之方法及装置采用飞秒激光振荡器，利用聚焦激光束照射真空室内金纳米阵列结构和惰性气体组成的复合靶，而表面等离子体激元共振可大幅度提高入射光场强度，满足产生极紫外波段高次谐波的场强度阈值，因此由飞秒激光振荡器就可以获得相干极紫外辐射，使其产生的设备变得简单和紧凑。本发明之方法及装置结构简单，获得的极紫外波段高次谐波的工作频率可高达70～80MHz，这种新的光源将非常有利于提高光源的光子流量。

主权项

一种产生相干极紫外辐射的方法及装置，部件包括飞秒激光振荡器(1)、激光束(2)、窗口(3)、真空室(4)、聚焦透镜(5)、金纳米结构(6)、喷嘴(7)、氩气(8)、平移台(9)、窗口(10)、极紫外平像场光谱仪(11)、X射线CCD(12)，其特征在于，由飞秒激光振荡器(1)发出的激光束(2)，经窗口(3)进入真空室(4)，经过聚焦透镜(5)，入射在金纳米结构(6)上，同时喷嘴(7)向金纳米结构(6)喷射氩气(8)，真空室(4)同时抽真空，产生的极紫外辐射由极紫外平像场光谱仪(11)和X射线CCD(12)来进行分析。