[发明专利]一种产生相干极紫外辐射的方法及装置

权利要求书

1.一种产生相干极紫外辐射的方法及装置，部件包括飞秒激光振荡器(1)、激光束(2)、窗口(3)、真空室(4)、聚焦透镜(5)、金纳米结构(6)、喷嘴(7)、氩气(8)、平移台(9)、窗口(10)、极紫外平像场光谱仪(11)、X射线CCD(12)，其特征在于，由飞秒激光振荡器(1)发出的激光束(2)，经窗口(3)进入真空室(4)，经过聚焦透镜(5)，入射在金纳米结构(6)上，同时喷嘴(7)向金纳米结构(6)喷射氩气(8)，真空室(4)同时抽真空，产生的极紫外辐射由极紫外平像场光谱仪(11)和X射线CCD(12)来进行分析。

2.根据权利要求1所述的金纳米结构，其特征在于，采用的是三角形天线(bow-tie)结构，材料选为金(Au)，等腰三角形的高为120～180nm，顶角为20～45°，厚度为30～60nm，两三角形顶点间距为20～50nm，衬底采用蓝宝石，衬底厚度为300～500μm，并且衬底与金纳米结构(6)的接触面上镀5～10nm厚的铬(Cr)。

3.根据权利要求1所述的飞秒激光振荡器，其特征在于，光源中心波长为800nm，输出指标为30nJ/100fs。

4.根据权利要求1所述的真空室，其特征在于，聚焦透镜(5)、金纳米结构(6)、喷嘴(7)和平移台(9)都处于真空室(4)内，且要保证真空室(4)的真空度优于10^-5torr。

5.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，喷嘴(7)的直径为100～200μm。

6.根据权利要求1所述，其特征在于，激光束(2)经聚焦透镜(5)聚焦后垂直入射蓝宝石衬底，再照射在金纳米结构(6)阵列上。

7.根据权利要求1所述，其特征在于，产生的极紫外辐射由极紫外平像场光谱仪(11)和X射线CCD(12)来检测和分析，并且X射线CCD(12)对极紫外辐射有较好的灵敏度。