[发明专利]物理量传感器以及电子设备

摘要

物理量传感器以及电子设备，能够抑制物理量传感器的检测灵敏度因在检测轴以外的方向上产生的加速度而下降。具有第1摆动体(300a)和第2摆动体(300b)，各摆动体(300a、300b)由第1支撑部(40a)和第2支撑部(40b)支撑在基板上，在平面视图中，第1摆动体被第1轴(支撑轴)(Q1)划分为第1区域(PT1)和第2区域(PT2)、第2摆动体被第2轴(支撑轴)(Q2)划分为第3区域(PT2)和第4区域(PT1)，第2区域的质量比第1区域大，第4区域的质量比第3区域大，第1区域和第2区域的排列方向与第3区域和第4区域的排列方向相反，在受到重力的状态下，第1摆动体和第2摆动体朝彼此相反的方向倾斜。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：基座；以及第1摆动体和第2摆动体，它们隔着空隙配置在所述基座的上方，所述第1摆动体包含第1支撑部、第2支撑部和第1可动电极，通过配置在第1轴上的所述第1支撑部和所述第2支撑部而支撑在所述基座的上方，并且在平面视图中，该第1摆动体被所述第1轴划分为第1区域和第2区域，在各个区域中形成有所述第1可动电极，所述第2摆动体包含第3支撑部、第4支撑部和第2可动电极，通过配置在第2轴上的所述第3支撑部和所述第4支撑部而支撑在所述基座的上方，并且在平面视图中，该第2摆动体被所述第2轴划分为第3区域和第4区域，在各个区域中形成有所述第2可动电极，在所述基座上，与所述第1可动电极和所述第2可动电极相对地形成有固定电极，所述第2区域的质量比所述第1区域的质量大，所述第4区域的质量比所述第3区域的质量大，所述第1摆动体的从所述第1区域向所述第2区域的排列方向与所述第2摆动体的从所述第3区域向所述第4区域的排列方向彼此相反。