[发明专利]物理量传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：

基座；以及

第1摆动体和第2摆动体，它们隔着空隙配置在所述基座的上方，

所述第1摆动体包含第1支撑部、第2支撑部和第1可动电极，通过配置在第1轴上的所述第1支撑部和所述第2支撑部而支撑在所述基座的上方，并且在平面视图中，该第1摆动体被所述第1轴划分为第1区域和第2区域，在各个区域中形成有所述第1可动电极，

所述第2摆动体包含第3支撑部、第4支撑部和第2可动电极，通过配置在第2轴上的所述第3支撑部和所述第4支撑部而支撑在所述基座的上方，并且在平面视图中，该第2摆动体被所述第2轴划分为第3区域和第4区域，在各个区域中形成有所述第2可动电极，

在所述基座上，与所述第1可动电极和所述第2可动电极相对地形成有固定电极，

所述第2区域的质量比所述第1区域的质量大，所述第4区域的质量比所述第3区域的质量大，

所述第1摆动体的从所述第1区域向所述第2区域的排列方向与所述第2摆动体的从所述第3区域向所述第4区域的排列方向彼此相反。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在受到重力的状态下，所述第1摆动体与所述第2摆动体朝向彼此相反的方向倾斜。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第1轴和所述第2轴中的至少一方与通过所述第1摆动体或所述第2摆动体的中心的线平行。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述第1区域和所述第2区域中的至少一方、或所述第3区域和所述第4区域中的至少一方中，形成有质量部。

5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在平面视图中，所述第2摆动体是使所述第1摆动体相对于与所述第1区域和所述第2区域的排列方向垂直的轴翻转后的形状。

6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在平面视图中，所述基座具有与所述第1区域相对的第5区域、与所述第2区域相对的第6区域、与所述第3区域相对的第7区域、以及与所述第4区域相对的第8区域，

所述固定电极形成于所述第5区域、第6区域、第7区域以及第8区域各自之中。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，跨越所述第1区域和所述第2区域公共地形成了所述第1可动电极。

8.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，跨越所述第3区域和所述第4区域公共地形成了所述第2可动电极。

9.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述第1支撑部、第2支撑部、第3支撑部以及第4支撑部利用扭簧形成。

10.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述第1摆动体和所述第2摆动体中的至少一方具有开口部，并且具有：

可动施重部，其配置于所述开口部中；

连接部，其将所述可动施重部与所述第1摆动体或所述第2摆动体连接；

第1臂状电极部，其从所述第1摆动体或所述第2摆动体朝向所述可动施重部突出而形成；以及

第2臂状电极部，其从所述可动施重部朝向所述第1摆动体或所述第2摆动体突出而形成，并且与所述第1臂状电极部相对。

11.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

该物理量传感器具有信号处理电路，该信号处理电路根据检测信号执行信号处理，

所述检测信号包含：第1检测信号，其根据所述第1区域的所述第1可动电极与所述固定电极之间的移位而变动；第2检测信号，其根据所述第2区域的所述第1可动电极与所述固定电极之间的移位而变动；第3检测信号，其根据所述第3区域的所述第2可动电极与所述固定电极之间的移位而变动；以及第4检测信号，其根据所述第4区域的所述第2可动电极与所述固定电极之间的移位而变动，

所述信号处理电路执行如下处理：

生成表示所述第1检测信号与所述第2检测信号之差的第1差动信号；

生成表示所述第3检测信号与所述第4检测信号之差的第2差动信号；以及

根据将所述第1差动信号与所述第2差动信号相加而得到的信号生成加速度检测信号。