[发明专利]一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法有效
| 申请号： | 201110139739.7 | 申请日： | 2011-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102254774A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 江南;曹则贤;纪爱玲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种活性气体流发生装置，包括：介电材料管，其内部流过工作气体；高压电极，与介电材料管相接触，并连接到交流电压源；第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，其中所述交流电压源向高压电极提供低于预定阈值电压的电压，以产生活性气体流。本发明还提供一种产生活性气体流的方法，包括：向介质材料管中通入工作气体；向高压电极上施加一低于阈值电压的电压，以使得介电材料管的出口流出中性活性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 活性 气体 发生 装置 及其 产生 方法 | ||
【主权项】：
一种活性气体流发生装置，包括：介电材料管，其内部流过工作气体；高压电极，与介电材料管相接触，并连接到交流电压源；第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，其中所述交流电压源向高压电极提供低于预定阈值电压的电压，以产生活性气体流。
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