[发明专利]一种活性气体流的发生装置及其产生活性气体流的方法

权利要求书

1.一种活性气体流发生装置，包括：

介电材料管，其内部流过工作气体；

高压电极，与介电材料管相接触，并连接到交流电压源；

第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，

其中所述交流电压源向高压电极提供低于预定阈值电压的电压，以产生活性气体流。

2.根据权利要求1所述的活性气体流发生装置，其中第一地电极围绕在介电材料管的外周。

3.根据权利要求1所述的活性气体流发生装置，其中高压电极围绕在介电材料管外周。

4.根据权利要求1所述的活性气体流发生装置，其中高压电极与介电材料管共同构成气体通路，高压电极直接与工作气体相接触。

5.一种活性气体流发生装置，包括：

介电材料管，其内部流过工作气体；

高压电极，围绕在介电材料管外周，并连接到交流电压源；

第一地电极，在高压电极的下游与介电材料管相接触，并与介电材料管一起形成工作气体通路。

6.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的活性气体流发生装置，还包括第二地电极，第二地电极在高压电极的上游与介电材料管相接触。

7.一种利用权利要求1所述的装置产生活性气体流的方法，包括：

1)向介质材料管中通入工作气体；

2)向高压电极上施加一低于阈值电压的电压，以使得介电材料管的出口流出中性活性气体。

8.根据权利要求7所述的产生活性气体流的方法，其中步骤2)包括：利用交流电压源向高压电极上施加电压，以在介电材料管中起辉而形成放电等离子体区；调整施加到高压电极上的电压，使放电等离子体区的边界在介电材料管的出口以内。

9.根据权利要求7所述的产生活性气体流的方法，其中步骤2)包括：调整施加到高压电极上的电压，同时检测介电材料管出口流出的气体，直到该气体中不含荷电粒子。

10.一种利用权利要求5所述的装置产生活性气体流的方法，包括：

1)向介质材料管中通入工作气体；

2)向高压电极上施加电压，以使得介电材料管的出口流出中性活性气体。