[发明专利]酸性蚀刻液在线电解回收装置及蚀刻液再生方法

摘要

本发明公开了一种酸性蚀刻液在线电解回收装置及一种酸性蚀刻液在线电解再生方法，先将酸性蚀刻液导入电解槽和调整槽，酸性蚀刻液经调整槽导入蚀刻机，将蚀刻废液导入阴、阳极液储存槽，电解槽阴极室电解得到阴极液及附着在阴极管上的金属铜，阳极室电解得到阳极液，电解槽阴、阳极室电解液则分别由阴、阳极液储存槽补充，调整槽内酸性蚀刻液用完后，将电解槽电解得到的阴极液与阳极液混合进入调整槽，继续用于蚀刻机工作，并取出阴极管，将电解铜剥落。本发明可以达到与蚀刻机对接在线的工作状态，形成闭路循环，大大节约蚀刻液成本又可以回收金属铜，铜离子再生电效≥98％，阴极沉积回收铜效率≥95％，铜纯度高于99％。

主权项

酸性蚀刻液在线电解回收装置，其特征在于：所述装置包括电解槽、阴极液储存槽、阳极液储存槽、调整槽、蚀刻机，所述的电解槽包括阴极室、阳极室和离子隔膜，离子隔膜将阴极室与阳极室隔开，阴极室内设置有阴极管，阳极室设置有阳极网，阴极管和阳极网分别与电流控制装置通过导线连接；所述的阴极液储存槽与电解槽阴极室通过管道相连接，阳极液储存槽与电解槽阳极室通过管道相连接，电解槽阴极室、阳极室分别与调整槽通过管道相连接，阳极液储存槽、阴极液储存槽及调整槽分别与蚀刻机通过管道连接，所述的各个管道中设有阀门。