[发明专利]酸性蚀刻液在线电解回收装置及蚀刻液再生方法

权利要求书

1.酸性蚀刻液在线电解回收装置，其特征在于：所述装置包括电解槽、阴极液储存槽、阳极液储存槽、调整槽、蚀刻机，

所述的电解槽包括阴极室、阳极室和离子隔膜，离子隔膜将阴极室与阳极室隔开，阴极室内设置有阴极管，阳极室设置有阳极网，阴极管和阳极网分别与电流控制装置通过导线连接；

所述的阴极液储存槽与电解槽阴极室通过管道相连接，阳极液储存槽与电解槽阳极室通过管道相连接，电解槽阴极室、阳极室分别与调整槽通过管道相连接，阳极液储存槽、阴极液储存槽及调整槽分别与蚀刻机通过管道连接，所述的各个管道中设有阀门。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液在线电解回收装置，其特征在于：所述的离子隔膜为阴离子交换膜。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液在线电解回收装置，其特征在于：所述的阴极管为钛质材料制成的阴极管。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液在线电解回收装置，其特征在于：所述的阳极网为DSA阳极。

5.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液在线电解回收装置，其特征在于：所述的电解槽为一个阳极室和多个阴极室，多个阴极室并联。

6.利用权利要求1所述装置进行的一种酸性蚀刻液在线电解再生方法，其特征在于包括以下操作步骤：

(1)蚀刻开始前，将酸性蚀刻液导入电解槽和调整槽，酸性蚀刻液经调整槽导入蚀刻机；

(2)蚀刻进行时，酸性蚀刻液经过蚀刻机产生蚀刻废液，将蚀刻废液导入阳极液储存槽和阴极液储存槽，电解槽阴极室电解得到阴极液及附着在阴极管上的金属铜，阳极室电解得到阳极液，电解槽阴极室和阳极室电解液则分别由阴极液储存槽和阳极液储存槽补充，待调整槽内酸性蚀刻液用完后，将电解槽阴极室电解得到的阴极液与阳极室电解得到的阳极液混合进入调整槽，继续用于蚀刻机工作，并取出阴极管，将电解铜剥落。

7.根据权利要求6所述的一种酸性蚀刻液在线电解再生方法，其特征在于：所述的电解槽内电解过程分为2～6个阶段，每个阶段的阴极电流密度范围为100～1500A/m²，阳极电流密度范围为10～150A/m²。

8.根据权利要求6所述的一种酸性蚀刻液在线电解再生方法，其特征在于：所述的电解槽内电解液的流量为0.8～1.5m³/h。

9.根据权利要求6所述的一种酸性蚀刻液在线电解再生方法，其特征在于：所述的调整槽内比重范围控制在1.2～1.4g/L，酸度范围控制在1.5～2.5mol/L，氧化还原电位值范围控制在400～600mV。