[发明专利]使用低能量研磨提供垂直磁记录换能器的方法和系统有效
| 申请号： | 201110126734.0 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN102280110A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | W·司;Y-F·李;Y·洪 | 申请（专利权）人： | 西部数据(弗里蒙特)公司 |
| 主分类号： | G11B5/127 | 分类号： | G11B5/127;G11B5/23 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及使用低能量研磨提供垂直磁记录换能器的方法和系统。描述一种磁换能器的制造方法和系统。该方法和系统包括提供具有底部和比底部宽的顶部的主磁极。该方法和系统还包括在与所述主磁极的顶部的法线形成的角度以第一能量进行高能离子研磨。高能离子研磨去除主磁极的顶部的一部分并且从主磁极露出顶部斜角表面。该方法和系统还包括在与所述顶部斜角表面形成的掠射角以第二能量进行低能离子研磨。掠射角度不大于十五度。第二能量低于第一能量。该方法和系统还包括沉积非磁性间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 能量 研磨 提供 垂直 记录 换能器 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种制造磁记录换能器的方法，包括：提供具有底部和比所述底部宽的顶部的主磁极；在与所述主磁极的顶部的法线形成的角度以第一能量进行高能离子研磨，所述高能离子研磨去除所述主磁极的顶部的一部分，露出所述主磁极的顶部斜角表面；以及在与所述顶部斜角表面形成的掠射角以第二能量进行低能离子研磨，所述掠射角度不大于十五度，所述第二能量低于所述第一能量；沉积非磁性间隙。
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