[发明专利]高压原位阻抗谱测量的电极及其制备方法和应用无效
| 申请号： | 201110126195.0 | 申请日： | 2011-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN102288824A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 高春晓;王月;刘才龙;彭刚;吴宝嘉;韩永昊;邹广田 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R27/26 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明的高压原位阻抗谱测量的电极及其制备方法和应用属于高压条件下电学量原位测量的技术领域。电极组成有在金刚石压砧(2)表面和金属膜电极(1)上沉积的氧化铝保护层(3)；金属膜电极(1)在金刚石压砧(2)的砧面中心呈圆形，在金刚石压砧(2)的侧面的金属膜电极(1)部分粘接铜丝导线(5)；金属垫片(4)作另一个电极，与金属膜电极(1)一起构成轴对称的电极体系。采用磁控溅射方法镀钼膜、沉积氧化铝膜、光刻和化学腐蚀的方法制作电极。本发明解决了电极固定以及样品腔绝缘等问题，可以忽略体系的寄生电容和寄生电感对测量结果的影响，使得高压下用金刚石对顶砧原位测量物质阻抗谱成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 高压 原位 阻抗 测量 电极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种高压原位阻抗谱测量的电极，组成有制备在金刚石压砧(2)上的金属膜电极(1)，在金刚石压砧(2)表面和金属膜电极(1)上沉积的氧化铝保护层(3)；其特征是，所述的金属膜电极(1)在金刚石压砧(2)的砧面中心呈圆形，且裸露在氧化铝保护层(3)之外，在金刚石压砧(2)的侧面的金属膜电极(1)部分的裸露在氧化铝保护层(3)之外用于粘接铜丝导线(5)；金属垫片(4)作另一个电极，与金属膜电极(1)一起构成轴对称的电极体系。
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