[发明专利]铌酸铋镁介质薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，步骤为：(1)配制铌的柠檬酸水溶液；(2)向上述水溶液中加入乙二醇，加热搅拌；(3)配制镁和铋的乙二醇溶液；(4)将配置的镁和铋的乙二醇溶液加入到步骤(2)的液体中，得铋镁铌溶胶；(5)向铋镁铌溶胶中加入乙醇，加热搅拌得到铋镁铌前驱液；(6)将前驱液均匀地涂覆在基片上，干燥；(7)将干燥后的薄膜于500～800℃热处理10min；(8)重复步骤(6)、(7)制备多层薄膜；(9)将多层膜在550～800℃热处理0.5～2h，得到立方焦绿石结构的铌酸铋镁介质薄膜。本发明具有精确控制薄膜化学组分、较高致密度的优点，没有裂纹和针孔等缺陷，制备工艺简单，成本低廉，作为微波介电可调材料具有良好的应用前景。

主权项

一种铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，具有如下步骤：(1)配制铌的柠檬酸水溶液(a)根据Bi1.5MgNb1.5O7的化学计量比称取Nb2O5，将Nb2O5放入氢氟酸中，水浴加热至Nb2O5全部溶解；(b)往上述溶液中加入氨水，调节PH值为8～9生成铌酸沉淀；(c)抽滤洗涤上述沉淀，然后将铌酸加入柠檬酸的水溶液中，得到铌的柠檬酸水溶液，其中铌离子与柠檬酸的摩尔比为1∶2～1∶6；(2)向步骤(1)制得的铌的柠檬酸水溶液中加入乙二醇，加热搅拌，柠檬酸与乙二醇的摩尔为1∶1～1∶4。(3)配制铋和镁的乙二醇溶液(a)按Bi1.5MgNb1.5O7的化学计量比称取五水硝酸铋，溶解于乙二醇中搅拌均匀。(b)按Bi1.5MgNb1.5O7的化学计量比称取六水硝酸镁，溶解于乙二醇中搅拌均匀。(4)将步骤(3)(a)、(3)(b)配置的铋的乙二醇溶液和镁的乙二醇溶液加入步骤(2)配置的液体中，搅拌均匀得铋镁铌溶胶；(5)向步骤(4)制得的铋镁铌溶胶中加入5～40ml乙醇做稀释剂，加热搅拌得到铋镁铌前驱液；(6)将步骤(5)配制的前驱液滴在基板上，用台式匀胶机匀胶，使前驱液均匀地涂覆在基板上，然后在热板上干燥；(7)将步骤(6)干燥后的薄膜在500～800℃进行热处理10min；(8)重复步骤(5)、(7)制备多层薄膜；(9)将步骤(8)制备的多层膜在550～800℃热处理0.5～2h，得到立方焦绿石结构的铌酸铋镁介质薄膜。