[发明专利]铌酸铋镁介质薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，具有如下步骤：

(1)配制铌的柠檬酸水溶液

(a)根据Bi_1.5MgNb_1.5O₇的化学计量比称取Nb₂O₅，将Nb₂O₅放入氢氟酸中，水浴加热至Nb₂O₅全部溶解；

(b)往上述溶液中加入氨水，调节PH值为8～9生成铌酸沉淀；

(c)抽滤洗涤上述沉淀，然后将铌酸加入柠檬酸的水溶液中，得到铌的柠檬酸水溶液，其中铌离子与柠檬酸的摩尔比为1∶2～1∶6；

(2)向步骤(1)制得的铌的柠檬酸水溶液中加入乙二醇，加热搅拌，柠檬酸与乙二醇的摩尔为1∶1～1∶4。

(3)配制铋和镁的乙二醇溶液

(a)按Bi_1.5MgNb_1.5O₇的化学计量比称取五水硝酸铋，溶解于乙二醇中搅拌均匀。

(b)按Bi_1.5MgNb_1.5O₇的化学计量比称取六水硝酸镁，溶解于乙二醇中搅拌均匀。

(4)将步骤(3)(a)、(3)(b)配置的铋的乙二醇溶液和镁的乙二醇溶液加入步骤(2)配置的液体中，搅拌均匀得铋镁铌溶胶；

(5)向步骤(4)制得的铋镁铌溶胶中加入5～40ml乙醇做稀释剂，加热搅拌得到铋镁铌前驱液；

(6)将步骤(5)配制的前驱液滴在基板上，用台式匀胶机匀胶，使前驱液均匀地涂覆在基板上，然后在热板上干燥；

(7)将步骤(6)干燥后的薄膜在500～800℃进行热处理10min；

(8)重复步骤(5)、(7)制备多层薄膜；

(9)将步骤(8)制备的多层膜在550～800℃热处理0.5～2h，得到立方焦绿石结构的铌酸铋镁介质薄膜。

2.根据权利要求1的铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)的氢氟酸的量为每0.03mol Nb₂O₅使用氢氟酸5～8ml。

3.根据权利要求1的铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)的铋镁铌前驱液的浓度为0.05～1mol/L。

4.根据权利要求1的铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)的基板为氧化铟锡导电玻璃基板或带有金属电极的Si基板。

5.根据权利要求1的铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)的热板温度为100～200℃。

6.根据权利要求1的铌酸铋镁介质薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(9)的铌酸铋镁介质薄膜的厚度为100纳米～10微米。