[发明专利]一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201110116568.6 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102220562A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 冯泉妤;黄金华;张宇龙;杨晔;宋伟杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括步骤：采用磁控溅射方法，以掺杂元素掺杂的氧化锌陶瓷为靶材，以氩气为溅射气体，本底真空度为4×10-3～1×10-4Pa，溅射气体的压力为0.2～1.5Pa，衬底温度为150～350℃，制得绒面结构氧化锌透明导电薄膜。该方法工艺简单，生产成本低，适于大规模工业化生产；制备的薄膜厚度为300～1200nm，绒度在3％～10％，方块电阻在5～50Ω/□，粗糙度在10～50nm，具有较高的绒度，较高的表面粗糙度和优良的电光学性能，适合于薄膜太阳电池的制备，可以提高太阳电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 氧化锌 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：采用磁控溅射方法，以掺杂元素掺杂的氧化锌陶瓷为靶材，以氩气为溅射气体，本底真空度为4×10‑3Pa～1×10‑4Pa，溅射气体的压力为0.2Pa～1.5Pa，衬底温度为150℃～350℃，制得绒面结构氧化锌透明导电薄膜。
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