[发明专利]一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201110116568.6 | 申请日： | 2011-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102220562A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 冯泉妤;黄金华;张宇龙;杨晔;宋伟杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结构 氧化锌 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：
采用磁控溅射方法，以掺杂元素掺杂的氧化锌陶瓷为靶材，以氩气为溅射气体，本底真空度为4×10-3Pa～1×10-4Pa，溅射气体的压力为0.2Pa～1.5Pa，衬底温度为150℃～350℃，制得绒面结构氧化锌透明导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的掺杂元素为Al、Ga、Y、B、Sn、Ti、V中的一种或两种。
3.根据权利要求2所述的绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的掺杂元素中两种掺杂元素之间的摩尔比值为0.05～1∶1。
4.根据权利要求1、2或3所述的绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的靶材中掺杂元素的摩尔百分浓度为0.5％～6％。
5.根据权利要求1所述的绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的溅射气体的压力为0.3Pa～1.0Pa，衬底温度为250℃～350℃。
6.根据权利要求1所述的绒面结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述的溅射功率为70W～120W，溅射时间为15分钟～30分钟。
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