[发明专利]一种多晶硅还原炉无效
| 申请号: | 201110115255.9 | 申请日: | 2011-05-05 |
| 公开(公告)号: | CN102205966A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
| 发明(设计)人: | 王春龙 | 申请(专利权)人: | 王春龙 |
| 主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;C01B33/021 |
| 代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 傅靖 |
| 地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 一种多晶硅还原炉,该包括底座以及固定设置于所述底座上的炉体,所述炉体内壁上还设置有保温隔热装置,所述保温隔热装置包括壳体以及设置于所述壳体内的收容腔。本发明通过设置保温隔热装置,使得其既可以起到隔断热量,避免了炉体内热量对炉体内壁造成的损害,又可对其附近的热能起到保温作用,极大地提高了炉体内热能的利用率,大大提高了多晶硅的产量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,该包括底座以及固定设置于所述底座上的炉体,所述底座上还设置有电极发热体,其特征在于,所述炉体内壁上设置有保温隔热装置,所述保温隔热装置包括壳体以及设置于所述壳体内的收容腔。
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