[发明专利]一种电力半导体器件阴极图形及其阴极梳条图形排布方法有效
| 申请号： | 201110107686.0 | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102214686A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈芳林;程银华;陈勇民;彭文华;张明 | 申请（专利权）人： | 株洲南车时代电气股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L21/28 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 412001 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电力半导体器件阴极图形及其阴极梳条图形排布方法，广泛应用于电力半导体、电力电子器件、全控型晶闸管等的阴极图形设计。阴极图形包括：以圆心为轴划分的等分扇区和同心圆环，扇区与同心圆环相交处为图形单元，分布在扇区内并位于同一圆环内的梳条沿圆环的圆弧排布，每圈梳条的外边线为圆弧，且梳条的朝向均平行于扇区的中心线，相邻的两个扇区之间留有门极快捷通道。将按上述设计的光刻掩膜版通过光刻加工，把阴极图形转移到芯片的表面，最终完成制作。该阴极图形及其梳条图形排布方法提高了芯片的有效面积利用率，提高了各梳条开通/关断的均匀性，有利于平衡距离门极电极远近带来的梳条开通/关断差异，便于加工成型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电力 半导体器件 阴极 图形 及其 排布 方法 | ||
【主权项】：
一种电力半导体器件阴极图形，包括以圆心为轴划分的等分扇区和同心圆环，扇区与同心圆环相交处为图形单元，其特征在于：阴极的梳条为扇区圆弧排布结构，分布在扇区内并位于同一圆环内的梳条沿圆环的圆弧排布，每圈梳条的外边线为圆弧，且梳条的朝向均平行于扇区的中心线，相邻的两个扇区之间留有门极快捷通道。
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