[发明专利]一种电力半导体器件阴极图形及其阴极梳条图形排布方法有效
| 申请号： | 201110107686.0 | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102214686A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈芳林;程银华;陈勇民;彭文华;张明 | 申请（专利权）人： | 株洲南车时代电气股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L21/28 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 412001 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电力 半导体器件 阴极 图形 及其 排布 方法 | ||
1.一种电力半导体器件阴极图形，包括以圆心为轴划分的等分扇区和同心圆环，扇区与同心圆环相交处为图形单元，其特征在于：阴极的梳条为扇区圆弧排布结构，分布在扇区内并位于同一圆环内的梳条沿圆环的圆弧排布，每圈梳条的外边线为圆弧，且梳条的朝向均平行于扇区的中心线，相邻的两个扇区之间留有门极快捷通道。
2.根据权利要求1所述的一种电力半导体器件阴极图形，其特征在于：所述相邻两个扇区之间的门极快捷通道设置有单个梳条。
3.根据权利要求1或2所述的一种电力半导体器件阴极图形，其特征在于：所述的扇区数为4~64，所述的圆环数为1~16。
4.根据权利要求3所述的一种电力半导体器件阴极图形，其特征在于：所述的扇区数为16。
5.根据权利要求4所述的一种电力半导体器件阴极图形，其特征在于：所述的阴极图形应用于全控型半导体器件。
6.根据权利要求5所述的一种电力半导体器件阴极图形，其特征在于：所述的阴极图形应用于IGCT或GTO或逆导结构的复合器件。
7.根据权利要求6所述的一种电力半导体器件阴极图形，其特征在于：所述阴极图形的中心区域或环形区域或边缘区域设置有门极。
8.一种对权利要求1或2所述的电力半导体器件阴极图形进行阴极梳条图形排布的方法，其特征在于，所述的排布方法包括以下步骤：
（A）以圆心为轴将电力半导体器件的阴极面划分为等分扇区；
（B）根据梳条的长度在电力半导体器件的阴极面划分同心圆环；
（C）在扇区内设置梳条，将分布在扇区内并位于同一圆环内的梳条沿圆环的圆弧进行排布，使得每圈梳条的外边线为圆弧，且梳条设置的朝向均平行于扇区的中心线；
（D）在相邻的两个扇区之间预留门极快捷通道；
（E）在阴极面的中心区域或环形区域或边缘圆环区域设置门极；
（F）将按上述步骤设计的光刻掩膜版通过光刻工艺加工，把所设计的阴极图形转移到芯片的表面。
9.根据权利要求8所述的一种电力半导体器件阴极梳条图形排布方法，其特征在于：在所述相邻两个扇区之间的门极快捷通道插入单个梳条。
10.根据权利要求9所述的一种电力半导体器件阴极梳条图形排布方法，其特征在于：以圆心为轴将电力半导体器件的阴极面划分为4~64个等分扇区；在电力半导体器件的阴极面划分为1~16个同心圆环。
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