[发明专利]一种把金属材料插入玻璃的方法及装置无效
| 申请号： | 201110106709.6 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102276167A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 于大全;戴风伟;李宝霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C03C27/02 | 分类号： | C03C27/02;H01L21/48 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种把金属材料插入玻璃以制造玻璃转接板的方法，以及实施该方法的装置。所述方法加热玻璃板的某一微区以使其软化，同时把金属材料插入到该软化的微区中一定深度，由此实现一种无需打孔而直接实现金属填充玻璃基板的方法。本发明的方法工艺简单，能有效解决玻璃转接板制备中打孔困难，填孔工艺复杂等问题，大大降低了工艺成本。通过该方法制作的玻璃转接板可用于微电子封装、MEMS器件封装，生物和医疗等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属材料 插入 玻璃 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种把金属材料插入玻璃的方法，该方法包括以下步骤：通过加热装置加热玻璃板的某一微区，使该微区的玻璃软化；通过插入装置把金属材料插入到软化的微区中一定深度；冷却固化所述软化的微区，使金属材料嵌入到玻璃板中。
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