[发明专利]一种把金属材料插入玻璃的方法及装置

权利要求书

1.一种把金属材料插入玻璃的方法，该方法包括以下步骤：

通过加热装置加热玻璃板的某一微区，使该微区的玻璃软化；

通过插入装置把金属材料插入到软化的微区中一定深度；

冷却固化所述软化的微区，使金属材料嵌入到玻璃板中。

2.一种制造插入有金属材料的玻璃板的方法，该方法包括以下步骤：

加热玻璃板的某一微区，使该微区的玻璃软化；

把金属材料插入到软化的微区中一定深度；

冷却固化所述软化的微区；

重复前述步骤，直到插入所要求数量的金属材料；

减薄并整平玻璃板，使金属材料的两端在玻璃板的上下表面暴露出来。

3.根据权利要求2所述的方法，所述减薄并整平玻璃板的步骤包括：

整平玻璃板插入金属材料的一面；

减薄并整平玻璃板未插入金属材料的另一面，使玻璃板减薄到要求的厚度。

4.根据权利要求3所述的方法，所述减薄是通过机械研磨进行的，所述整平是通过机械抛光或化学机械抛光进行的。

5.根据权利要求2所述的方法，还包括在所述玻璃板的两面制作再分布层的步骤，使得金属材料的两端可通过再分布层与外部器件连接。

6.根据权利要求5所述的方法，所述再分布层包括凸点底部金属层和凸点。

7.根据权利要求2所述的方法，所述玻璃板可以进行MEMS器件的封装或集成。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的方法，所述金属材料形成为丝状，柱状，锥柱状或球状。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的方法，所述金属材料是钨，镍，铁，铜，铝，铂，金，鈀，钛或其合金。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的方法，所述金属材料的表面覆盖有一层或多层用于增加与玻璃润湿性或防止玻璃氧化的涂层。

11.根据权利要求10所述的方法，所述涂层是所述金属材料的氧化物、聚合物材料或玻璃。

12.一种制造插入有金属材料的玻璃板的装置，所述装置包括：

加热装置，用于加热玻璃板的某一微区，使该微区的玻璃软化；

插入装置，用于把金属材料插入到软化的微区中一定深度，由此制成插入有金属材料的玻璃板。

13.根据权利要求12所述的装置，所述加热装置所提供的温度大于所述玻璃板的软化温度并小于所述金属材料的熔点。

14.根据权利要求12所述的装置，所述加热装置与所述金属材料放置在所述玻璃板的一侧或分别放置在该玻璃板的两侧。

15.根据权利要求12所述的装置，所述插入装置是具有拿持和输送功能的机械装置。

16.根据权利要求12所述的装置，所述加热装置包括等离子体炬或激光器。