[发明专利]一种调焦调平测量装置有效
| 申请号： | 201110098246.3 | 申请日： | 2011-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102749808A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张冲;陈飞彪;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种调焦调平测量装置，包括：照明单元，具有宽带光源和照明镜组；投影单元，具有标记板、投影前透镜组、投影后透镜组和分束机构；接受成像单元，具有耦合机构、接受前透镜组和接受后透镜组；以及位置探测器单元，从所述照明单元发出的光均匀照明至所述标记板上，所述标记板上的标记经所述投影单元后，在被测目标的被测表面上形成多个标记，这些标记由被测表面反射后经所述接受成像单元成像于所述位置探测器上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种调焦调平测量装置，包括：照明单元，具有宽带光源和照明镜组；投影单元，具有标记板、投影前透镜组、投影后透镜组和分束机构；接受成像单元，具有耦合机构、接受前透镜组和接受后透镜组；以及位置探测器单元，从所述照明单元发出的光均匀照明至所述标记板上，所述标记板上的标记经所述投影单元后，在被测目标的被测表面上形成多个标记，这些标记由被测表面反射后经所述接受成像单元成像于所述位置探测器单元上。
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