[发明专利]一种调焦调平测量装置

权利要求书

1.一种调焦调平测量装置，包括：

照明单元，具有宽带光源和照明镜组；

投影单元，具有标记板、投影前透镜组、投影后透镜组和分束机构；

接受成像单元，具有耦合机构、接受前透镜组和接受后透镜组；

以及位置探测器单元，

从所述照明单元发出的光均匀照明至所述标记板上，所述标记板上的标记经所述投影单元后，在被测目标的被测表面上形成多个标记，这些标记由被测表面反射后经所述接受成像单元成像于所述位置探测器单元上。

2.根据权利要求1所述的测量装置，还包括反射镜组，用于对投影光束和成像光束的反射。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述标记板与照明光轴垂直。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述投影前透镜组和所述投影后透镜组构成双远心光学系统。

5.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述接受前透镜组和所述接受后透镜组构成双远心放大光学系统。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其中，所述分束机构由n分束棱镜和n-1个全反射棱镜构成，n分束棱镜的作用是把由所述投影前透镜组和所述投影后透镜组构成的投影光学系统所成的标记的像分成n束，每一束在被测表面上相应形成一个测量区域，每个测量区域内都各有多个测量点，其中，n＞1。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其中，在所述n分束棱镜后设有补偿透镜。

8.根据权利要求7所述的测量装置，其中，在部分全反射棱镜上设置平板，使到达被测表面的光的光程相等。

9.根据权利要求6-7中任意一个所述的测量装置，其中，所述耦合机构的结构与所述分束机构的结构相对应，具有耦合棱镜和n-1个全反射棱镜，但各元件之间的位置存在一定的偏移。

10.根据权利要求9所述的测量装置，其中，在接收从所述n分束棱镜不经全反射棱镜入射至被测表面的标记所经过的合束面上镀覆增透膜，在其他标记经过的合束面上镀覆全反膜。