[发明专利]蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法有效
| 申请号： | 201110097782.1 | 申请日： | 2011-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN102212334A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 景旭斌 | 申请（专利权）人： | 浙江露笑光电有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 韩洪 |
| 地址： | 311814 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 片粗磨 研磨 及其 配制 方法 | ||
【主权项】：
蓝宝石衬底片粗磨研磨液，其特征在于：由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。
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