[发明专利]蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法。

背景技术

双面减薄是蓝宝石衬底片加工工序的第一步，也是至关重要的一步，双面减薄的厚度、TTV、背面粗糙度直接影响后序的加工质量。通常双面研磨采用氧化铝或金刚石粉进行研磨，这两种材质不利于蓝宝石平整度要求，而且成本高昂。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法，所得研磨液成本低，稳定性好。

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。

作为优选，所述高分子有机醇为乙二醇。

作为优选，所述高分子化合物为硬脂酸。

作为优选，所述碱为氢氧化钠。

蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；c、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。

作为优选，所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为300w。

本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液成本低，稳定性好，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。

具体实施方式

蓝宝石衬底片粗磨研磨液，由碳化硼、水和悬浮液组成，碳化硼、水和悬浮液的重量比＝2∶4∶1，所述悬浮液由乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠组成，乙二醇、硬脂酸和氢氧化钠的重量比＝2∶5∶1。其中，碳化硼采用型号F240的碳化硼。

蓝宝石衬底片粗磨研磨液的配制方法，包括以下步骤：a、按照权利要求1所述配比称取原料混合；b、将步骤a所得液体用100目过滤网过滤；c、将步骤b所得液体用超声波振荡仪振荡15分钟。所述超声波振荡仪的频率为28khz，功率为300w。

采用本发明碳化硼研磨液加工出的产品，整盘厚度精确到目标厚度±1um，表面平整度TTV≤2um，背面无划伤，背面粗糙度0.8～1.2um。