[发明专利]等离子体加工设备及其工作方法有效
| 申请号： | 201110095456.7 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102737939A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 张彦召 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100026 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体加工设备及其工作方法，涉及等离子体加工技术领域，能够清除等离子体加工设备内的残余电荷，提高等离子体加工设备工作的稳定性。本发明提供的等离子体加工设备包括反应腔室，分别位于所述反应腔室的顶部和底部上且相对设置的上电极和下电极，以及位于所述反应腔室外部的射频电源，还包括设置于所述反应腔室外部的开关，所述开关与所述上电极相连接，且所述开关用于对所述上电极的接通路径进行控制以使所述上电极与所述射频电源连接或者与地连接。本发明可用于等离子体加工技术中。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 加工 设备 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体加工设备，包括反应腔室，分别位于所述反应腔室的顶部和底部上且相对设置的上电极和下电极，以及位于所述反应腔室外部的射频电源，其特征在于，还包括设置于所述反应腔室外部的开关，所述开关与所述上电极相连接，且所述开关用于对所述上电极的接通路径进行控制以使所述上电极与所述射频电源连接或者与地连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110095456.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种供电方法、供电电路及电子设备
- 下一篇：发光键盘
