[发明专利]物镜旋转的辅助装置有效
| 申请号: | 201110084189.3 | 申请日: | 2011-04-02 |
| 公开(公告)号: | CN102736424A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
| 发明(设计)人: | 王成才;鲁武旺;李志丹;金小兵 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明的物镜旋转的辅助装置设置在基板上,用于辅助旋转物镜,所述物镜旋转的辅助装置包括:环形导轨,固定在所述基板上;环形转接板,设置在所述环形导轨上,所述物镜穿过所述环形转接板和环形导轨,并与所述环形转接板挠性连接,所述环形转接板设有槽孔;滑块,设置在所述环形转接板的槽孔内;旋转滚珠,设置在所述滑块靠近所述环形导轨的一端;推压机构,设置在所述环形转接板上,所述推压机构推压所述滑块,使所述旋转滚珠与所述环形导轨滚动连接。本发明的物镜旋转的辅助装置实用性强,且省时省力。 | ||
| 搜索关键词: | 物镜 旋转 辅助 装置 | ||
【主权项】:
一种物镜旋转的辅助装置,设置在基板上,用于辅助旋转物镜,其特征在于,所述物镜旋转的辅助装置包括:环形导轨,固定在所述基板上;环形转接板,设置在所述环形导轨上,所述物镜穿过所述环形转接板和环形导轨并与所述环形转接板挠性连接,所述环形转接板设有槽孔;滑块,设置在所述环形转接板的槽孔内;旋转滚珠,设置在所述滑块靠近所述环形导轨的一端;推压机构,设置在所述环形转接板上,所述推压机构推压所述滑块,使所述旋转滚珠与所述环形导轨滚动连接。
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